芯片里面长啥样?扫描电子显微镜放大10000倍告诉你!

发布时间:2023-11-21 10:45:53   来源:米乐体育下载

  这次文章的主题是芯片内部的结构。所谓芯片,实际上的意思就是集成电路(IC,全称Integrated Circuit),实际上的意思就是通过光蚀刻等方法,将传统的电路集成到一片硅片上。

  目前最新IC工艺早已进入纳米级(10的-9次方),也就是0.000000001米。例如英特尔的最新的工艺已确定进入14nm,正逐步向10nm推进,而台积电和三星也早已开始了7nm工艺的预研。要想用显微镜看清这一些产品的线路,那对显微镜的放大倍数有着极高的要求。没有几十万倍的放大倍率是做不到的,普通企业的实验室根本不可做到。

  因而本文所展示的这个78L05还距离纳米级别有一段距离。78L05是模拟功率器件,内部结构相对来说还是比较简单,线宽也比较大,应该说是属于微米级别的。因而用10000倍的扫描电子显微镜(SEM)就可以看得相当清楚了。只是想抛砖引玉,说明一下原理,毕竟半导体的原理基本都是相通的。

  这篇文章其实也是源于笔者所在的公司最近做的一个故障分析项目(Failure Analysis),毕竟普通家庭不可能配备电子显微镜这种设备。笔者公司的实验室其实也只有一台5000倍的SEM。后面10000倍的那个扫描隧道显微镜的图片还是去其他单位的实验室照的。

  好了,说了那么多,究竟是哪块芯片呢?其实就是一片SOP封装的78L05,8个pin。是主板上很常见的芯片,是一颗12V转5V的稳压块芯片。很多厂家都有做,比如ST(意法半导体)等等。至于这次分析的这片是哪个厂商的,因为涉及到品控,所以具体的不方便透露。78L05在电脑的主板上很常见,就是图中红框里的这片,只有小手指甲的一半大小:

  网上随便找了张DATASHEET,这是PIN脚定义。最简单,DC12V入5V出,然后供给下一步继续降压或者直接供电压输入是5V的芯片。

  使用强酸溶液将树脂外壳溶解,即Decap操作,当中的硅片露出来了。注意,硅片只占整个78L05中间很小的一部分:

  高倍光学显微镜下,进一步放大观察Die(裸片)。PIN脚的定义很容易理解了:一个输入,一个输出,4个是接地,还有2个NC:

  光学显微镜下,继续放大,可见3根铜线连接(bond)在裸片(die)上:

  好了,光学显微镜的部分到此结束。接下来,进行SAT验证,产品正常,没有Delamination(分层),粉红色是产品过IR后因不一样的材料不同线胀系数的自然现象,正常。

  接着,进行EMMI(Emission Micro Scope)比对(关于显微镜成像分析,具体可参考。经过微光显微镜验证,发现良品与不良品的现象相同,因而判断这片不良品的Chip并没有Crack的现象。

  至此,问题基本厘清了。接下来,就是依照产品的批号等信息,回溯到工厂产线上负责接线的设备和人员上了,距离root cause也就不远了。有值友可能会好奇,一个78L05,值得花费这么大的力气吗?其实,由于涉及到的量比较大,所以肯定是值得去分析的。

  其实7805的单颗成本很低,但主要是因为小零件出问题,导致总系统就出大问题。故障分析的目的是找出最终的原因(root cause),杜绝问题又出现。希望这篇文章,能够帮到大家探索到更微观的IC内部的世界!

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